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等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個腔體內即實現(xiàn)了兩種鍍膜功能；本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體，鍍膜過程完全可見。儀器標配雙極旋片真空泵，能夠快速達到1.0E-4Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa，可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環(huán)境。本儀器體積小，節(jié)省空間，能夠置于試驗臺上使用，一機多用，性價比突出，非常適合各大高校及研究機構選用。
離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀適用范圍：
熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復合型鍍膜儀適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導體材料試驗電極的制作等。
熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復合型鍍膜儀技術參數(shù)：
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產品名稱 |
熱蒸發(fā)與等離子鍍膜復合型鍍膜儀 |
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產品型號 |
CY-EVZ270-I-HP-SS |
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樣品臺 |
位 置 |
頂部設置 |
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外形尺寸 |
直徑φ150mm |
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轉 速 |
0-20 rpm可調 |
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可調溫度 |
≦500℃ |
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熱蒸發(fā)源 |
鎢舟 |
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蒸發(fā)電源 |
蒸發(fā)源配一組獨立電源 |
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濺射電源 |
直流電源 |
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濺射靶 |
數(shù)量2”×1 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
直徑φ273mm×H300mm |
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觀察窗口 |
直徑φ80mm |
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腔體材質 |
304不銹鋼 |
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開啟方式 |
前開門式 |
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膜厚測量 |
晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） |
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真空系統(tǒng) |
前級泵 |
雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
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次級泵 |
渦輪分子泵,氣體抽速60L/S |
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真空測量 |
復合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) |
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系統(tǒng)真空 |
5×10-4Pa |
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控制系統(tǒng) |
CYKY自研專業(yè)級控制器 |
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其他參數(shù) |
供電電源 |
AC220V,50Hz |
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整機尺寸 |
600mm×500mm×850mm |
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整機功率 |
7KW |
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整機重量 |
120kg |
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