設備名稱

派瑞林真空氣相沉積設備

產品型號

CY-VPC-300

工作環(huán)境

電源：380V    五線 4 平方以上電纜，*大功率 l0KW

環(huán)境溫度：0-40℃

環(huán)境濕度：＜90%

尺寸

外觀尺寸 1580*880*1550mm，占地面積約 1.5 平米， 安裝時周圍要留有50cm 以上的操作空間

加熱部分

升華區(qū)

原料倉：φ69*200mm          容量:300g

蒸發(fā)溫度：室溫 200℃

溫度偏差:±2℃

裂解區(qū)

裂解溫度:650-700℃ 溫度穩(wěn)定性: ±2℃

保溫區(qū)

加熱溫度＜300℃

控制系統

品牌

PLC 控制系統

程序

為自動沉積系統和手動沉積系統兩部分

顯示

顯示屏尺寸:12 寸觸摸彩屏

沉積系統

真空應體

1 個，尺寸φ300xH400  ,  304 不銹鋼

腔體容積

28L

觀察窗

1 個觀察窗口，便于觀察產品在沉積室的狀態(tài)

旋轉部分

馬達轉速可調 1-10 轉／分

真空系統

真空泵

真空計

制冷系統

天寒TH-95-15-G(鍋式)，制冷溫度≤90℃制冷啟動后30分鐘內可從室溫到-70℃

偶聯劑蒸發(fā)裝置

提高派瑞林涂層與需要做涂層基材表面的結合力

設備主要部件

1、蒸發(fā)系統： 蒸發(fā)艙、電力n熱裝置、溫度傳感器

2、裂解系統：裂解艙 、電力日熱裝置、溫度傳感器

3、沉積系統：沉積艙 、真空傳感器 、樣品架

4、真空系統： 真空泵、真空計

5、冷凝系統：鍋式冷阱

6、設備主機：設備外殼、控制電路、真空管道

7、石英管：   1根

可沉積原料類型

Parylene C、N、F、D

設備特點

1、氣化加熱可移動，適合連續(xù)生產，如出現突然停電等意外情況可以隨時移掉加熱，保證產品**．

2、氣化部分部分為透明玻璃管，可以隨時查看料的情況，并可以保持低溫生產，滿足高要求鍍膜．

3、氣化可以移動，是派坷**設置，可以保證無**沖突，生產**。

4、腔體內部轉架特殊設計可以有效減少壞點的數量．

5、可視化、人性化界面，操作簡單易懂．

6、玻璃管，可以大大降低升溫降溫時間．

7、保溫部分做優(yōu)化，使得派瑞林不易在玻璃管內壁沉積，可以長期不用保養(yǎng)，減少保養(yǎng)時間