1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì)，可以混合1~3路氣體，較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面，可以監(jiān)測(cè)氣體壓力及混合槽壓力。

技術(shù)參數(shù)：

1200單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)
真 空 管 式 爐	產(chǎn)品型號(hào)	CY-CVD1200-50-400-3TH-Q
	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管直徑	50mm（可選配60mm、80mm、100mm）
	爐管長(zhǎng)度	800mm
	爐膛長(zhǎng)度	440mm
	加熱區(qū)長(zhǎng)	400mm
	恒溫區(qū)長(zhǎng)	200mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	LCD
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
供 氣 系 統(tǒng)	產(chǎn)品型號(hào)	CY-3F
	氣體通道	3通道
	測(cè)量部件	氣體浮子流量計(jì)
	測(cè)量量程	A通道：0～100ml/min    H2氣	備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。
		B通道：16～160ml/min    N2氣
		C通道：25～250ml/min    Ar氣
	測(cè)量精度	±2.0%
	管道耐壓	3MPa
	工作壓差	50～300KPa
	連接管道	304不銹鋼
	控制閥門	304不銹鋼針閥
	接口規(guī)格	進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
排 氣 系 統(tǒng)	機(jī)械泵	旋片泵
	抽氣速率	1.1L/S
	排氣接口	KF16
	真空測(cè)量	電阻規(guī)
	極限真空	1.0E-1Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
	抽氣接口	KF16

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