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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):桌面型靶下置型磁控鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSZ180X-I-DC-SS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設(shè)備經(jīng)過(guò)小型化設(shè)計(jì),將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別,大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點(diǎn)。真空腔體整體采用下置靶設(shè)計(jì),濺射效果好,雜質(zhì)污染少,能*大限度的保護(hù)樣品。
詳情介紹:

本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設(shè)備經(jīng)過(guò)小型化設(shè)計(jì),將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別,大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點(diǎn)。真空腔體整體采用下置靶設(shè)計(jì),濺射效果好,雜質(zhì)污染少,能*大限度的保護(hù)樣品。

桌面型靶下置型磁控鍍膜技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱(chēng)

桌面型靶下置型磁控鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSZ180X-I-DC-SS

樣品臺(tái)

外形尺寸

φ100mm

加熱溫度

500

可調(diào)轉(zhuǎn)速

20rpm

磁控靶槍

配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X215mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

304不銹鋼

開(kāi)啟方式

上蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測(cè)量

復(fù)合真空計(jì),量程:10-5~105Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統(tǒng)真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s,前級(jí)泵抽速1.1L/s 

電源配置

電源數(shù)量

直流電源一套

輸出功率

500W

其他參數(shù)

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

2kW

整機(jī)尺寸

550mm X 350mm X400mm


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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