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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:全自動(dòng)超聲波氣氛加熱勻膠機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-SPC6F-AL-UL
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
CY-SPC-HUA6勻膠機(jī)是一種小型、靈活的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進(jìn)而通過高速旋轉(zhuǎn)使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨(dú)進(jìn)行旋涂操作。腔體內(nèi)布有加熱元件,可在勻膠后進(jìn)行烤膠操作。產(chǎn)品帶有兩路浮子流量計(jì)控制的氣路,可將惰性氣體通入腔體內(nèi),在勻膠時(shí)保護(hù)膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝、制版的表面涂覆??蓜蚰z*大圓晶尺寸為6英寸,轉(zhuǎn)速可達(dá)10000rpm,加速度可達(dá)5000rpm;具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,啟動(dòng)迅速,操作方便等優(yōu)點(diǎn),并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性,是一款性能優(yōu)良的產(chǎn)品。
詳情介紹:

產(chǎn)品特征

1. 采用直流無刷電機(jī),單片機(jī)控制

2. 高清晰觸摸屏控制

3. 可進(jìn)行單步多步勻膠操作,可存儲(chǔ)五種程序,每種程序可設(shè)置五步操作

4. 防堵膠設(shè)計(jì)

5. 鋁合金腔體,堅(jiān)固耐用

6. 帶有超聲波,氣氛,加熱等多種輔助功能,為勻膠研究進(jìn)行多種輔助 

產(chǎn)品參數(shù): 

產(chǎn)品名稱

超聲波輔助氣氛勻膠機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-SPC6F-AL-UL

勻膠機(jī)

圓晶尺寸

6英寸

旋轉(zhuǎn)速度

100~10000rpm可調(diào)

旋轉(zhuǎn)加速度

100~5000rpm/s可調(diào)

單次*長(zhǎng)勻膠時(shí)間

3000s

勻膠腔體尺寸

Φ200mm* 90mm

電壓

220V 50Hz

功率

400W

加熱溫度

0-100

質(zhì)保時(shí)間

易損件除外,1年,終身技術(shù)支持

超聲波系統(tǒng)

霧化頭材質(zhì)

鈦合金

頻率

40kHz

功率

130W

流量

0.55mL/s

微粒直徑

25um

霧化頭類型

錐型

霧化頭重量

0.3kg

超聲波電源尺寸

315*312*135mm

超聲波電源重量

5kg

注射泵

流量范圍

0.001uL/min-43.349mL/min

掉電記憶工能

保存設(shè)置參數(shù),重新上電后,無需設(shè)置

適用進(jìn)樣器規(guī)格

10uL-1000uL

適用注射器規(guī)格

1mL-60mL

線速度范圍

5um/min-65um/min

線速度調(diào)節(jié)分辨率

5um/min

*大行程

140mm

行程分辨率

0.156um

額定線性推力

90N

流量計(jì)

控制氣體種類

2

氣體流速

16-160mL/min

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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